在半导体制造过程中,tapeout是一个非常至关重要的步骤。tapeout是指将芯片电路设计转化为掩膜,进而进行生产的过程。
将设计转化为掩膜是半导体生产的关键一步,而这个过程又被称为tapeout。在这个过程中,设计人员会将元件放置在芯片中,设计布线,并进行各种模拟,以确保最终电路能够按照设计的预期工作。完成设计后,必须将每个元件定义为图形化形状。同时,必须为单层或多层填充电路间隙。
在完成布局后,必须形成刻蚀掩膜。在此,每一层都必须单独形成掩膜,并且每一层均需要光刻工艺制作。一旦生产完成并形成芯片,芯片会以试用评估样品的形式发放给客户,以确保元件能够如预期工作,并进行大规模生产。